产品技术
Products
碳化硅长晶设备
产品涵盖：
碳化硅长晶设备、金刚石长晶设备、气体萃取设备、气体注入设备、镭射切割设备;
应用领域：
晶体生长、原料合成、原料沉积、晶体热处理等领域;
亮点：
●运用物理气相传输(PVT)系统而生产的碳化硅长晶设备，专为碳化硅晶体生长而设计，并基于线圈感应加热概念，可以生长直径达6英寸的晶锭。
●以晶体生长工艺技术为导向，研发出金刚石长晶设备，其所使用的真空微波电浆系统是智能化、高科技真空电浆运用的主流。
关键词：
碳化硅
线圈感应加热
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