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碳化硅长晶设备

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产品概述

运用物理气相传输(PVT)系统而生产的碳化硅长晶设备,专为碳化硅晶体生长而设计,并基于线圈感应加热概念,可以生长直径达6英寸的晶锭。
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碳化硅长晶设备


产品涵盖:

碳化硅长晶设备、金刚石长晶设备、气体萃取设备、气体注入设备、镭射切割设备;

应用领域:

晶体生长、原料合成、原料沉积、晶体热处理等领域;

亮点:

●运用物理气相传输(PVT)系统而生产的碳化硅长晶设备,专为碳化硅晶体生长而设计,并基于线圈感应加热概念,可以生长直径达6英寸的晶锭。

●以晶体生长工艺技术为导向,研发出金刚石长晶设备,其所使用的真空微波电浆系统是智能化、高科技真空电浆运用的主流。

关键词:

碳化硅

线圈感应加热

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