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6寸碳化硅衬底
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产品概述
技术设备自主化，全球首创的iGOWER视觉智能长晶机器人装置；采用PVT法生长的碳化硅晶锭(衬底片)，增加了对原材料进行预处理工艺技术，提高了原料的纯度和密度，减少了晶锭(晶体)中可能出现的缺陷;
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6寸碳化硅衬底
产品涵盖：
碳化硅晶锭、碳化硅衬底片、碳化硅外延片;
应用领域：
高功率模块、智能逆变器、射频器件、风力发电、新能源汽车、CPU、核能等;
亮点：
●技术设备自主化，全球首创的iGOWER视觉智能长晶机器人装置;
●采用PVT法生长的碳化硅晶锭(衬底片)，增加了对原材料进行预处理工艺技术，提高了原料的纯度和密度，减少了晶锭(晶体)中可能出现的缺陷;
●碳化硅外延片(100mm/150mm)具有极佳的均匀性，外延厚度可达250μm，并且可根据客户需求订制规格。
关键词：
技术设备自主化
碳化硅晶锭
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