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4寸碳化硅衬底

产品概述

技术设备自主化,全球首创的iGOWER视觉智能长晶机器人装置;采用PVT法生长的碳化硅晶锭(衬底片),增加了对原材料进行预处理工艺技术,提高了原料的纯度和密度,减少了晶锭(晶体)中可能出现的缺陷;
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4寸碳化硅衬底


产品涵盖:

碳化硅晶锭、碳化硅衬底片、碳化硅外延片;

应用领域:

高功率模块、智能逆变器、射频器件、风力发电、新能源汽车、CPU、核能等;

亮点:

●技术设备自主化,全球首创的iGOWER视觉智能长晶机器人装置;

●采用PVT法生长的碳化硅晶锭(衬底片),增加了对原材料进行预处理工艺技术,提高了原料的纯度和密度,减少了晶锭(晶体)中可能出现的缺陷;

●碳化硅外延片(100mm/150mm)具有极佳的均匀性,外延厚度可达250μm,并且可根据客户需求订制规格。

关键词:

技术设备自主化

碳化硅晶锭

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