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气体萃取设备

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产品概述

卓远半导体运用先进工艺,以气体萃取工艺技术为核心,研发出气体萃取设备。需搭配我司Intelligent Gas Injection System (IGI)系列气体注入设备使用。
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气体萃取设备


Intelligent Gas Extraction System (IGE)系列气体萃取系统,采用微波电浆化学气相沉积法(MPCVD)制备,主要用于金刚石长晶过程中的摻杂气体萃取。

 

技术参数

序号

项目

规格/参数

01

尺寸(约)

1400 W x700D X1950H (mm)

02

重量(约)

350 kg

03

微波功率

1.3kw/2.45GHZ

04

腔体材料

Aluminum alloy

05

冷却方式

Water-cooling

06

底盘高度

14mm

07

主要气体管道

H₂

08

工作压力范围

10-300 torr

09

真空检漏值

1X10-6mbar.l/sec

10

真空泵

Rotary Pump(250)liters Per Min

11

CDA压力

2-4 kg/cm2

12

水压

3-5kg/cm2

13

电压

3Φ220V±10%/50Hz/60Hz

14

电流

20 A

关键词:

气体萃取

金刚石

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